Wygrzewanie

Wygrzewanie odnosi się do procesu, w którym kolumna jonowa lub elektronowa znajdująca się pod próżnią jest wystawiona na działanie wysokiej temperatury (ponad 100°C) w sekcji ultrawysokiej próżni. Podczas wygrzewania działa pompa jonowa (IGP) w celu absorpcji uwolnionych cząsteczek z sekcji UHV.

Wygrzewanie pozwala na osiągnięcie ultrawysokiej próżni. Proces ten jest stosowany głównie w przypadku kolumn, których sekcja UHV została wystawiona na działanie atmosfery lub których pompa jonowa nie jest już w stanie generować odpowiedniej ultrawysokiej próżni z powodu długotrwałego użytkowania. W mikroskopach FIB-SEM podgrzewana jest zarówno głowica kolumny, jak i IGP.