Ausheizen

Ausheizen bezeichnet den Vorgang, bei dem eine sich unter Vakuum befindliche Elektronen- bzw. Ionensäule im Bereich des Ultrahochvakuums hoher Hitze (über 100°C) ausgesetzt wird. Während des Ausheizens wird eine Ionengetterpumpe (IGP) betrieben, um die freiwerdenden Moleküle aus dem UHV-Bereich aufzunehmen.

Das Ausheizen ermöglicht das Erreichen eines Ultrahochvakuums. Dieser Vorgang wird vor allem für Säulen verwendet, deren UHV-Bereich der Atmosphäre ausgesetzt wurde bzw. deren Ionengetterpumpe aufgrund langer Nutzung nicht mehr in der Lage ist ein angemessenes Ultrahochvakuum zu erzeugen. Bei FIB-SEM Mikroskopen werden sowohl Säulenkopf als auch IGP geheizt.