Pompa jonowa (IGP)

Pompa jonowa jest specjalnym rodzajem pompy próżniowej. Zasada działania pompy opiera się na jonizacji resztkowych cząstek gazu (atomów lub molekuł). Tutaj cząstki są jonizowane przez zderzenie z elektronami w polu elektrycznym i są przyspieszane na powierzchnię, na której uwięzione są naładowane cząstki.

Pompa jonowa może być używana tylko w istniejącej wysokiej próżni i osiąga wartości próżni w zakresie ultrawysokiej próżni (UHV).