Ionengetterpumpe (IGP)

Die Ionengetterpumpe ist eine Sonderform der Vakuumpumpe. Das Funktionsprinzip der Pumpe basiert auf der Ionisierung von Restgaspartikeln (Atomen bzw. Molekülen). Hierbei werden die Partikel durch die Kollision mit Elektronen in einem elektrischen Feld ionisiert und auf eine Oberfläche beschleunigt, an der die geladenen Teilchen gefangen werden.

Die Ionengetterpumpe kann nur in einem bereits bestehenden Hochvakuum verwendet werden und erreicht Vakuumwerte im Bereich des Ultrahochvakuums (UHV).