Ultrawysoka próżnia (UHV)

Ultrawysoka próżnia (UHV)

Próżnia w zakresie poniżej 1 x 10-9 mbar jest określana jako ultrawysoka próżnia (UHV). Jest wymagany w mikroskopach FIB-SEM, aby wiązki elektronów i jonów mogły bez przeszkód docierać do próbki. UHV jest generowane przez pompy jonowe.