Ultrahochvakuum (UHV)

Als Ultrahochvakuum (UHV) wird ein Vakuum im Bereich unter 1 x 10^-9 mbar bezeichnet. Es wird in FIB-SEM Mikroskopen benötigt, damit Elektronen- und Ionenstrahlen ungehindert die Probe erreichen können. Das UHV wird durch Ionengetterpumpen erzeugt.