System precyzyjnego dozowania gazów roboczych (GIS)

System precyzyjnego dozowania gazów roboczych (GIS) to opcja urządzenia, która umożliwia wykonanie procesów osadzania i trawienia na próbce. Rozróżnia się osadzanie FIB (Focused Ion Beam Induced Deposition, FIBID), osadzanie SEM (Focused Electron Beam Induced Deposition, FEBID) i trawienie FIB.

Systemy precyzyjnego dozowania gazów roboczych mogą być zaprojektowane jako pojedynczy GIS lub jako multi-GIS. Różnica polega na tym, że pojedynczy GIS działa tylko z jednym gazem (prekursorem) i jest zakończony tylko jedną dyszą. Multi-GIS ma kilka dysz (zwykle 5) na końcu szerokiej lancy i dlatego może używać pięciu różnych gazów.

Powszechnie używanymi gazami są difluorek ksenonu (XeF2, często używany do trawienia FIB), platyna (Pt, używany do lameli TEM), dwutlenek krzemu (SiO2), jod (I), wolfram (W), węgiel (C) i woda (H2O).