TEM Lamelle

Eine TEM Lamelle ist eine sehr dünne Materialschicht, die für die Untersuchung von Materialien in einem Transmissionselektronenmikroskop (TEM) vorbereitet wird. Lamellen, die anstatt des herkömmlichen Schleifens in einem FIB-SEM Mikroskop präpariert werden, weisen zumeist eine Stärke von nur wenigen Nanometern auf. Die Präparation einer TEM Lamelle ist ein aufwendiger und zeitintensiver Prozess.

Die Präparation einer TEM Lamelle in einem FIB-SEM Mikroskop erfolgt vor allem durch Ionenstrahlätzen. Dabei wird eine dünne Probe (Lamelle) von zwei Seiten aus freigeätzt, anschließend wird eine dünne Schicht (meist Platin) über eine FIB-Abscheidung über die TEM Lamelle gelegt, an die eine Manipulatornadel angeschweißt wird. Wenn die Nadel mit der präparierten TEM Lamelle verbunden ist, wird die im TEM zu untersuchende Probe komplett aus dem Ursprungsmaterial gelöst und per Lift-Out auf einen anderen Träger befördert.